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半导体洁净车间的使用注意点

  • 来源:本站作者:常州大恒净化技术有限公司发布时间:2022/9/15 17:21:59浏览量:97
  •   半导体洁净车间的使用注意点

      有一些设备对使用环境没有什么要求,所以使用起来也没有那么多需要注意的地方,但是有一些设备对于使用环境是有要求的,所以对于使用环境的要求也是很高的,有相应的一些设备会选择在洁净车间去进行使用。接下来我们就来了解一下半导体洁净车间的使用注意点。

      1、半导体洁净车间内部要确保粉尘只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境,这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源输入洁净车间中。

      2、为保持恒温恒湿,大型空调设备须搭配前面的鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。

      3、所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因此洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘埃等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至低的程度。

      4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。

      5、所有人或事物进出洁净车间,人要穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。

      6、半导体洁净车间内水的使用只限用去离子水。一是防止水中粉粒污染晶圆,二是防止水中重金属离子污染金氧半晶体管结构的带电载子信道,影响半导体组件的工作特性。去离子水是比较好的溶剂与清洁剂,在半导体工业的使用量非常惊人。

      7、半导体洁净车间用到的气源,包括吹干晶圆和机台空压所需要的,都需要使用98%氮气,吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。

      想要让半导体洁净车间充分的发挥它的作用,平时在使用的时候要按照正确的方法去进行使用,现在有很多地方或者行业都会考虑使用半导体洁净车间,因为它比较干净,而且使用起来很方便,所以大家都比较愿意使用那样的产品。

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